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產(chǎn)品分類

+ 方向控制器

4、5通先導(dǎo)式電磁閥 3通先導(dǎo)式電磁閥 3・4・5通直動式電磁閥串行傳送系統(tǒng) 機(jī)控閥/手動閥氣控閥大功率閥

+ 氣缸

標(biāo)準(zhǔn)型氣缸緊湊型氣缸耐水性提高氣缸浮動接頭氣液單元無桿氣缸氣動滑臺帶導(dǎo)桿氣缸鎖緊氣缸特殊氣缸夾緊氣缸止動氣缸測程缸帶閥氣缸其他氣缸液壓緩沖器磁性開關(guān)

+ 擺動氣缸/氣爪

擺動氣缸氣爪磁性開關(guān)

+ 真空元件

真空發(fā)生器真空過濾器真空吸盤真空吸盤真空系統(tǒng)關(guān)聯(lián)元件

+ 壓縮空氣清凈化元件

壓縮空氣清凈化元件壓縮空氣清凈化過濾器系列

+ 模塊式F.R.L/壓力控制器

模塊式F.R.L. 減壓閥電-氣比例閥/比例閥/增壓閥

+ 潤滑元件

潤滑元件

+ 管路與管接頭

通用管接頭特殊環(huán)境用管接頭管子相關(guān)附屬元件

+ 驅(qū)動控制元件

速度控制閥相關(guān)元件

+ 消聲器/排氣潔凈器/噴槍/壓力表

消聲器/排氣潔凈器噴槍壓力表

+ 傳感器/靜電消除器

壓力開關(guān) 流量開關(guān) 靜電消除器

+ 流體控制元件

2/3通流體閥/VX 特殊用途用2/3通閥 2通流體閥/VC 通用流體用2/3通閥化學(xué)液用閥/管接頭&管子/針閥隔膜泵

+ 工業(yè)用過濾器

工業(yè)用過濾器燒結(jié)金屬濾芯燒結(jié)金屬濾芯

+ 溫控器

溫控器

+ 高真空元件

高真空元件

+ 液壓元件

液壓缸液壓用元件

+ 電動執(zhí)行器/電動缸

電動執(zhí)行器 e-無桿電動缸

+ 潔凈/低發(fā)塵/ 無銅氟離子

潔凈/低發(fā)塵/ 無銅氟離子

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真空無桿氣缸 CYV

系列/CAD	使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝	缸徑 (mm)
CYV	大氣～1.3×10^-4	15,32
特長	真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10^-4Pa) 在搬運(yùn)場合可以使用的氣缸。

門閥 XGT

系列/CAD	使用壓力范圍 (Pa)	使用流體	門尺寸 (高×寬) (mm)	動作壓力 (MPa)
XGT	大氣壓～1×10^-6	惰性氣體系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特長	對于半導(dǎo)體裝置等場合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。

平穩(wěn)出氣閥 XVD

系列/CAD	閥形式	使用流體	配管連接方式	配管尺寸
XVD	常斷 (加壓通/彈簧密封)	氮?dú)�、空氣、惰性氣體等	VCR^® Swagelok^®	1/4B
特長	閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。 (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

磁性開關(guān) D

系列	磁性開關(guān)種類	內(nèi)容
D Series	有觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)
D Series	無觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥 XM/XY

系列/CAD (L型/直通型)	動作方式	軸密封方式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XMA/XYA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMC/XYC		波紋管密封	雙作用	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMD/XYD		波紋管 O型圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　SCS13 　(相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動	波紋管密封	手動	閥體：　SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	16～50^注）
特長	采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無氣體滯留。與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

鋁制快換接頭裝拆高真空L型閥 XLAQ·XLDQ

系列/CAD	動作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLAQ	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	16～50
XLDQ	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	40,50
特長	快換接頭裝拆 (無需工具)

鋁制高真空L型閥 XL

系列/CAD	動作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～80
XLAV (帶電磁閥)
XLC			雙作用
XLCV (帶電磁閥)
XLF		O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金	16～160
XLFV (帶電磁閥)
XLG			雙作用		16～80
XLGV (帶電磁閥)
XLD		波紋管・ O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	25～80
XLDV (帶電磁閥)
XLH	手動	波紋管密封	手動	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～50
XLS	電磁式	波紋管壓力平衡	單作用 (N.C.)		16, 25
特長	抗氟腐蝕能力強(qiáng)。放出氣體少。重金屬污染少。

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