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產(chǎn)品分類

+ 方向控制器

4、5通先導(dǎo)式電磁閥 3通先導(dǎo)式電磁閥 3・4・5通直動(dòng)式電磁閥串行傳送系統(tǒng) 機(jī)控閥/手動(dòng)閥氣控閥大功率閥

+ 氣缸

標(biāo)準(zhǔn)型氣缸緊湊型氣缸耐水性提高氣缸浮動(dòng)接頭氣液?jiǎn)卧?/a> 無(wú)桿氣缸氣動(dòng)滑臺(tái) 帶導(dǎo)桿氣缸鎖緊氣缸特殊氣缸夾緊氣缸止動(dòng)氣缸測(cè)程缸帶閥氣缸其他氣缸液壓緩沖器磁性開關(guān)

+ 擺動(dòng)氣缸/氣爪

擺動(dòng)氣缸氣爪磁性開關(guān)

+ 真空元件

真空發(fā)生器真空過(guò)濾器真空吸盤真空吸盤真空系統(tǒng)關(guān)聯(lián)元件

+ 壓縮空氣清凈化元件

壓縮空氣清凈化元件壓縮空氣清凈化過(guò)濾器系列

+ 模塊式F.R.L/壓力控制器

模塊式F.R.L. 減壓閥電-氣比例閥/比例閥/增壓閥

+ 潤(rùn)滑元件

潤(rùn)滑元件

+ 管路與管接頭

通用管接頭特殊環(huán)境用管接頭管子相關(guān)附屬元件

+ 驅(qū)動(dòng)控制元件

速度控制閥相關(guān)元件

+ 消聲器/排氣潔凈器/噴槍/壓力表

消聲器/排氣潔凈器噴槍壓力表

+ 傳感器/靜電消除器

壓力開關(guān) 流量開關(guān) 靜電消除器

+ 流體控制元件

2/3通流體閥/VX 特殊用途用2/3通閥 2通流體閥/VC 通用流體用2/3通閥化學(xué)液用閥/管接頭&管子/針閥隔膜泵

+ 工業(yè)用過(guò)濾器

工業(yè)用過(guò)濾器燒結(jié)金屬濾芯燒結(jié)金屬濾芯

+ 溫控器

溫控器

+ 高真空元件

高真空元件

+ 液壓元件

液壓缸液壓用元件

+ 電動(dòng)執(zhí)行器/電動(dòng)缸

電動(dòng)執(zhí)行器 e-無(wú)桿電動(dòng)缸

+ 潔凈/低發(fā)塵/ 無(wú)銅氟離子

潔凈/低發(fā)塵/ 無(wú)銅氟離子

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真空無(wú)桿氣缸 CYV

系列/CAD	使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝	缸徑 (mm)
CYV	大氣～1.3×10^-4	15,32
特長(zhǎng)	真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10^-4Pa) 在搬運(yùn)場(chǎng)合可以使用的氣缸。

門閥 XGT

系列/CAD	使用壓力范圍 (Pa)	使用流體	門尺寸 (高×寬) (mm)	動(dòng)作壓力 (MPa)
XGT	大氣壓～1×10^-6	惰性氣體系的真空	32×222 46×236 50×336	0.45～0.6
特長(zhǎng)	對(duì)于半導(dǎo)體裝置等場(chǎng)合、適合于負(fù)載鎖定室和傳送室以及傳送室和過(guò)程室之間有門閥隔開的場(chǎng)合。

平穩(wěn)出氣閥 XVD

系列/CAD	閥形式	使用流體	配管連接方式	配管尺寸
XVD	常斷 (加壓通/彈簧密封)	氮?dú)�、空氣、惰性氣體等	VCR^® Swagelok^®	1/4B
特長(zhǎng)	閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來(lái)的1/4。 (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。伴隨主供氣初期供氣可進(jìn)行流量調(diào)整。

磁性開關(guān) D

系列	磁性開關(guān)種類	內(nèi)容
D Series	有觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)
D Series	無(wú)觸點(diǎn)的磁性開關(guān)	一般 (通用型)

不銹鋼制高真空L型閥／直通閥 XM/XY

系列/CAD (L型/直通型)	動(dòng)作方式	軸密封方式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XMA/XYA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMC/XYC		波紋管密封	雙作用	閥體：　 SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　 SUS316L	16～80^注）
XMD/XYD		波紋管 O型圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　SCS13 　(相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	25～80
XMH/XYH	手動(dòng)	波紋管密封	手動(dòng)	閥體：　SCS13 　 (相當(dāng)SUS304) 波紋管：　SUS316L	16～50^注）
特長(zhǎng)	采用精密鑄造一體化結(jié)構(gòu)，無(wú)氣體滯留。與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)

鋁制快換接頭裝拆高真空L型閥 XLAQ·XLDQ

系列/CAD	動(dòng)作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLAQ	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	16～50
XLDQ	氣控	波紋管密封 O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁波紋管：　SUS316L	40,50
特長(zhǎng)	快換接頭裝拆 (無(wú)需工具)

鋁制高真空L型閥 XL

系列/CAD	動(dòng)作方式	軸密封形式	閥形式	材質(zhì)	法蘭尺寸
XLA	氣控	波紋管密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～80
XLAV (帶電磁閥)
XLC			雙作用
XLCV (帶電磁閥)
XLF		O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金	16～160
XLFV (帶電磁閥)
XLG			雙作用		16～80
XLGV (帶電磁閥)
XLD		波紋管・ O形圈密封	單作用 (N.C.)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	25～80
XLDV (帶電磁閥)
XLH	手動(dòng)	波紋管密封	手動(dòng)	閥體：　鋁合金波紋管：　SUS316L	16～50
XLS	電磁式	波紋管壓力平衡	單作用 (N.C.)		16, 25
特長(zhǎng)	抗氟腐蝕能力強(qiáng)。放出氣體少。重金屬污染少。

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